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TEACHERS

教員の紹介
林 康明

氏名 林 康明
職位 教授
学部 理工学部
学科・専攻 理工学科・電気電子工学専攻
専門・研究分野 プラズマ科学
プラズマ化学気相堆積(p-CVD)
微粒子プラズマ
薄膜電子材料
ナノカーボン
偏光解析(エリプソメトリ)
研究キーワード プラズマ、薄膜、微粒子、ナノテクノロジー、エリプソメトリ
学部担当科目 情報処理入門、微分積分学基礎Ⅰ、電気電子工学概論、理工学基礎セミナーⅠ・Ⅱ、電気回路Ⅰ・Ⅱ、電磁気学Ⅰ・演習、電気電子工学実験Ⅰ・Ⅱ、電気電子工学実習、電子回路、固体電子物性、量子力学、理工学実践演習Ⅰ・Ⅱ、卒業研究Ⅰ・Ⅱ
関連リンク
学位
実務経験
現在の研究内容・課題
  1. ミー散乱エリプソメトリを用いたプラズマ中に捕捉された微粒子の粒径空間分布解析法の開発研究
  2. プラズマCVD法による非金属基板上へのグラフェン成長およびその場解析・制御技術の研究
主な研究業績
  • 著書:“プラズマプロセス技術”(共編著)(2017)、森北出版、他12
  • 学術論文:” Structure of a Three-Dimensional Coulomb Crystal in a Fine-Particle Plasma”, Hayashi, Y, Phys. Rev. Lett. 83 (1999) 4764-4767、他94
  • 参考論文:“ミー散乱エリプソメトリ”、林康明、プラズマ・核融合学会誌、93 (2017) 592-596、他27
  • 特許(登録済み):“カーボンナノチューブ構造体製造方法及びそれを利用した電子放出源”、林康明、小谷和範、宇都宮里佐、特開2011-178605、特許第5505786号、他21
  • 受賞:第17回(1995年度)応用物理学会賞A(論文賞)、第24回熊谷記念真空科学論文賞(1999年度)
主な所属学会 応用物理学会
プラズマ・核融合学会
日本物理学会
日本表面真空学会